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集多功能于一體的原子力顯微鏡

Park XE15原子力顯微鏡具有眾多的獨(dú)特功能，是處理多種樣品的共享實(shí)驗(yàn)室、進(jìn)行多變量實(shí)驗(yàn)的研究院以及晶片故障分析工程師的理想選擇。同時(shí)，合理的價(jià)格和穩(wěn)健的功能使之成為業(yè)內(nèi)認(rèn)可的大型樣品原子力顯微鏡之一。

MultiSample?（多重采樣?）掃描器帶來便捷樣品測量

Park XE15能夠一次性掃描和測量多個(gè)樣品，讓您的效率提高。您只需要將樣品放入工作臺，再啟動(dòng)掃描程序便可。該功能也可以讓您在相同的環(huán)境條件下掃描樣品，從而提高數(shù)據(jù)的**性和穩(wěn)定性。

可掃描大件樣品

與大多數(shù)的原子力顯微鏡不同，Park XE15可掃描尺寸為200 mm x 200 mm的樣品。這樣既滿足了研究員對掃描大樣品的需求，也讓故障分析工程師能夠掃描硅片。

功能齊全，可滿足各種需求

Park XE15配有絕大多數(shù)的掃描模式，可掃描各種尺寸的樣品。得益于此，Park XE15是共用實(shí)驗(yàn)室的*佳配置，能夠滿足每個(gè)人的需求。

MultiSample?（多重采樣?）掃描器帶來便捷樣品測量 

Park XE15 MultiSample?掃描系統(tǒng) 

· 全機(jī)動(dòng)XY軸樣品臺，行程范圍達(dá)150 mm x 150 mm

借助電動(dòng)樣品臺，MultiSample?掃描模式能夠允許用戶自行編程，借助自動(dòng)化步進(jìn)掃描，實(shí)現(xiàn)多區(qū)域成像。

6.重復(fù)掃描

XE scan system

XY flexure scanner

圖9. (a)表示 Park Systems XE系統(tǒng)的背景曲率為零，(b)是傳統(tǒng)的原子力顯微鏡系統(tǒng)的管式掃描器的典型背景曲率, (c)展示了這些背景曲率的橫截面。
圖9展示了XE系統(tǒng)(a)和傳統(tǒng)原子力顯微鏡(b)掃描硅片時(shí)，未處理的成像圖。由于硅片屬于原子級光滑材料，因此圖像中的彎曲大多數(shù)是掃描器所引起的。圖9(c)展示了圖9中(a)(b)圖像的橫截面。由于管式掃描器本身帶有背景曲率，因此當(dāng)X軸的位置移動(dòng)15 μm時(shí)，平面外移動(dòng)*大可達(dá)80 nm。而在相同的掃描范圍內(nèi)，XE掃描系統(tǒng)的平面外移動(dòng)則不超過1 nm。XE掃描系統(tǒng)的另一大優(yōu)勢是Z軸伺服回應(yīng)。圖10是XE掃描系統(tǒng)在無接觸模式下拍下的一個(gè)多孔聚合物球體（二乙烯苯）的圖像，其直徑大約為5 μm。由于XE掃描系統(tǒng)的Z軸伺服回應(yīng)極其精準(zhǔn)，探針可以**地沿著聚合物球體上的大曲率以及小孔平面結(jié)構(gòu)移動(dòng)，而不會(huì)壓碎或粘連在其表面上。圖11是Z軸伺服回應(yīng)在平坦背景上高性能的表現(xiàn)。

True Non-Contact?模式可延長針尖使用壽命，改善樣品保存及精度 

在True Non-Contact?模式中，探針**與樣品的距離在相互原子力的控制下，被成功地控制在幾納米之間。探針**振動(dòng)幅度下，大大減少了探針與樣品的接觸，從而完好地保護(hù)了探針和樣品。

True Non-Contact? Mode

Tapping Imaging